聚乙烯醇肉桂酸酯負型光刻膠具有感光性好，分辨率高，抗蝕性強，與金屬粘接力強等特點。其制法是將此酯溶于有機溶劑，再加增感劑等配制而成。
一、感光液的配比：
聚乙烯醇肉桂酸酯 2.5g
氯苯 25.0g
田苯 75.0g
5-硝基苊 0.25g

二、柯達公司提出的典型光刻膠質(zhì)量百分比：
聚乙烯醇肉桂酸酯 8.42
線性酚醛樹脂 0.65
噻脞啉系光刻劑 0.08
對苯二酚 0.04
一氯苯 71.65
環(huán)己酮 19.16
（備注：上述配方中，加人線性酚醛樹脂在于增加光刻膠對基材的黏合力和抑制在顯影過程中溶脹）

三、吡啶法配方：
聚乙烯醇 118
吡啶 200mL
肉桂酰氯 50g
    將聚乙烯醇放到吡啶中使其懸濁，在水浴上加熱一晝夜使其溶解，然后加入100mL吡啶，將液溫降至50℃以下，加人熔融的肉桂酰氯50g，在50℃下繼續(xù)攪拌反應(yīng)4h左右，把所生成的黏稠塊狀物溶于4倍丙酮中，過濾后注人水中即得聚乙烯醇肉桂酸酯，將其過濾、水洗、在暗處晾干。

四、堿水溶液法配方：
聚乙烯醇（1mol／L） 100mL
氫氧化鉀（4mol／L） 100mL
丁酮 100mL
甲苯 24mL
肉桂酰氯（1.2mol／L） 116mL
    將聚乙烯醇溶為1moL／L的濃度（按OH基計），另將氫氧化鉀配成4moL／L的濃度，各取100mL相混合后，加人lOOmL丁酮，在攪拌下加人24mL甲苯和116mL溶有1.2moL（對羥基）肉桂酰氯的丁酮溶液使其在0～5℃反應(yīng)。

    聚乙烯醇肉桂酸酯的合成：苯基丙烯酸與氯化亞砜進行酰氯化，再與聚乙烯醇酯化得聚乙烯醇肉桂酸酯。以三氯乙烯作為顯影劑時，線性酚醛的效果尤為顯著。線性酚醛的分子量在350～600的范圍內(nèi)，加量是聚乙烯醇肉桂酸酯質(zhì)量的2％～15％，一般取8％。所生成的聚乙烯醇肉桂酸酯會溶到有機溶劑層中，反應(yīng)結(jié)束后，靜置則分為兩層，將有機溶劑滴人甲醇中，即可析出聚合物。
    該聚乙烯醇肉桂酸酯在負型光刻膠可用在商標(biāo)牌、感光研磨、印刷電路、刻度盤、比例尺、腐蝕凸版中的應(yīng)用及大規(guī)模集成電路、大功率管、可控硅精密器件的光刻加工。