南京市科學技術委員會組織有關專家對我公司承擔的江蘇省科技支撐計劃（工業部分）項目“超大規模集成電路（VLSI）用超純硅烷氣體”進行了驗收。驗收委員會聽取了林總經理對項目工作總結、技術總結和經費使用情況的匯報，并審閱了相關資料。驗收委員會一致認為我公司“超大規模集成電路（VLSI）用超純硅烷”項目已完成合同規定的各項考核指標，一致同意通過驗收。

　　　“超大規模集成電路（VLSI）用超純硅烷”項目有效利用公司現有生產設備，通過改造低溫分離裝置、硅烷反應釜和采用自有專利技術對生產過程中排放的無水液氨氣體進行回收循環利用；形成利用現有生產裝置實現生產99.9999%超純硅烷的能力；有效解決了產品包裝的技術難題。項目技術路線合理，解決的技術難題具有代表性，項目技術達到國內領先水平。該項目已申報國家專利6項，其中發明專利4項（已公告），實用新型專利2項（已授權）。參與制定國家標準1項（已頒布實施）。

　　　此次承擔的江蘇省科技支撐計劃（工業部分）項目“超大規模集成電路（VLSI）用超純硅烷”項目順利通過了省轄市科技主管部門的驗收，表明我公司在科技創新、研發等方面取得的巨大進步，南京特種氣體廠有限公司將繼續加強產學研合作，促進科技成果的轉化，促進企業在電子氣體行業又好又快的發展打下堅實的基礎，并且借此基礎像蘇州金宏氣體一樣在電子氣體行業為國家做出貢獻。