1450(W)×1100(D)×1850(H)mm

600(W)×840(D)×800(H)mm

530(W)×700(D)mm ，15層  ◆ 等離子發生器(美國MKS)

頻率13.56MHZ,功率0-5000W連續調節,自動阻抗匹配,全電路保護,可連續長時間工作

觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式

日本愛發科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S) （前級泵可選配愛德華干泵）

英國愛德華羅茨泵  EH500(140L/S)        

臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英?？蹈呔日婵沼嫛鞲衅?/font>

美國AE高精度電子質量流量計(兩路氣體配制)、針閥

美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥

日本SMC及CKD高真空氣閥組件