技術參數 ◆ 設備外形尺寸
630(W)×650(D)×420(H)mm
◆ 倉體結構(耐熱玻璃或石英玻璃，約10升)Φ215 × 300(L) mm
◆ 電極面積(外置電容耦合或電感耦合電極)180(W) ×210(D) mm
◆ 等離子發生器(韓國KM）頻率13.56MHZ,功率0-300W連續調節,自動阻抗匹配
◆ 控制系統
觸摸屏（7寸）+PLC單步法全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統德國萊寶(Leybold)真空泵 D16C (20m3/h)
SMC截止閥、充氣閥，德國(Inficon)壓力傳感器
◆ 壓力控制PID閉環自動穩壓控制
◆ 氣路系統2路工藝氣體配置，電子質量流量計、針閥，美國飛托克(FITOK)氣體管路