技術參數 ◆ 外形尺寸
570(W)×420(D)×740(H)mm
◆ 倉體結構(不銹鋼，約20升)420(W)×270(D)×170(H)mm
◆ 電極面積250(W) ×190(D) mm,3層
◆ 清洗模式RIE or DP模式自動轉換
頻率13.56MHZ,功率0-500W連續調節,自動阻抗匹配
◆ 控制系統觸摸屏（7寸）+PLC單步法全自動控制 ,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，
性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統德國萊寶(Leybold)真空泵 D30C (37m3/h)
進口氣動角閥、充氣閥，德國(Inficon)壓力傳感器
◆ 壓力控制PID閉環自動穩壓控制
◆ 氣路系統2路工藝氣體+1路氮氣配置，電子質量流量計、針閥，美國飛托克(FITOK)氣體管路