技術(shù)參數(shù)
◆ 外形尺寸(不包括報(bào)警燈)
850(W)×1000(D)×1850(H)mm
◆ 倉(cāng)體結(jié)構(gòu)(約200升)550(W)×700(D)×530(H)mm
◆ 電極面積550(W)×700(D)×530(H)mm，14層
◆ 等離子發(fā)生器(MF)頻率40KHZ,功率0-3KW連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配
◆ 控制系統(tǒng)有邏輯電路半自動(dòng)控制,采用歐姆龍、西門(mén)子等世界著名品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)日本愛(ài)發(fā)科(ULVAC)機(jī)械真空泵 VDN901 (23L/S)
進(jìn)口氣動(dòng)角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管，
德國(guó)英福康Inficon高精度真空計(jì)、規(guī)管
◆ 處理氣體兩路工藝氣體配置(氬氣、氧氣）美國(guó)高精度浮子流量計(jì)、針閥，
美國(guó)世偉洛克Swagelok不銹鋼拋出現(xiàn)被限制詞語(yǔ)體管