高純氬的雜質總含量應小于10×10-6,，其中的主要雜質是氮、氧、氫、水分、一氧化碳及烴類
超純氬的純度為99.99999%，其中雜質＜0.1×10-6，露點＜70℃
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超純氬的純度為99.99999%，其中雜質＜0.1×10-6，露點＜70℃
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