sMIM-掃描近場微波阻抗顯微鏡模塊適配于各類主流品牌的AFM。其不僅能進(jìn)行納米尺度空間分辨的電導(dǎo)率及介電常數(shù)的測量，還能進(jìn)行載流子濃度以及半導(dǎo)體P/N型的測量。相比于導(dǎo)電原子力顯微鏡，sIMM很好的彌補了其無法測量絕緣體的遺憾。相比于掃描電容顯微鏡，sIMM擁有更高測量頻率從而實現(xiàn)更高電學(xué)分辨率。因此，sIMM適合于各類材料包括導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體/電介質(zhì)、掩埋式結(jié)構(gòu)、晶體管等樣品。
ScanWave讓您的AFM成為專業(yè)的電學(xué)顯微鏡！
50nm超高分辨率，~100nm內(nèi)部電學(xué)探測，導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體的廣泛適用度，為您提供電導(dǎo)率、介電常數(shù)、摻雜濃度納米級
高靈敏度電學(xué)表征成像的解決方案。
適配各種AFM平臺的獨立掃描模塊
模塊包括微波信號發(fā)生器、探針干涉模塊、
自主專利同軸屏蔽探針、以及微波近場軟件，可
應(yīng)用于各種AFM平臺。
特殊MEMS結(jié)構(gòu)探針，有效避免散雜磁場的干擾。
專業(yè)多功能自由切換電學(xué)顯微鏡測試功能體驗
sMIM-C成像：介電常數(shù)、電容變化；
sMIM-R成像：電導(dǎo)率、電阻率變化；
dC/dV 振幅：載流子濃度；
dC/dV 相位：載流子類型+/- ；
dR/dV 振幅：相關(guān)損失系數(shù)；
dR/dV 相位：相關(guān)損失系數(shù)；
高精度電學(xué)測試，50nm分辨率
工業(yè)級高靈敏度、低噪音，“Hard stuff”材料電學(xué)測試不再是難題
可實現(xiàn)表面下成像、檢測（>100nm)
不同材料同步測量
導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體、電介質(zhì)都可以實現(xiàn)，不同的材料甚至分類都可以 在一次掃描中觀測
簡易操作
不需要樣品特別處理，不需要將樣品放置在導(dǎo)電或電流中，人性化軟件設(shè)計，操作簡單
接觸和非接觸多種掃描模式
即使在做力曲線，只要想實現(xiàn)，就可以同時獲得電學(xué)數(shù)據(jù)。