一、小流量氣體質量流量傳感器-FSG4000系列主要特性：
1）傳感器靈敏度高，有極小的始動流量
2）傳感器芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
3）在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高
4）傳感器的零點穩(wěn)定度高
5）全量程高穩(wěn)定性
6）全量程高精確度和優(yōu)良的重復性
7）低功耗
8）低壓損
9）響應時間快
二、小流量氣體質量流量傳感器-FSG4000系列典型應用： 
適用于小流量氣體質量的流量測量。