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名 稱
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參 數
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工
作
臺
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金屬臺面尺寸(MM)
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510*290
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圓形玻璃臺面尺寸:(MM)
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360*360
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X坐標行程:(MM)
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200
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Y坐標行程：(MM)
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100
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儀器外形尺寸(長)Х(寬)Х(高) MM：
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480Х 650 Х1000
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儀器重量（KG）：
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100
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Z坐標升降行程:(MM)：170(調焦) 工作距離（MM）：95
X/Y/Z數顯分辨率：0.0005MM (0.5UM) X、Y坐標示值誤差：≤（3+L/200）ΜM
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影
像
系
統
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攝影機：彩色1/3″CCD攝影機(日本索尼芯片）
變焦物鏡倍率：0.7～4.5X（定格變倍，無需每次校準）
視頻總倍率：30X～230X
物方視場：7～1.1MM
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照 明
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表面光源與透射光源均用LED，亮度可調
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電 源
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180V（AC）～260V（AC） 50HZ
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