1 排氣路徑短，減少反應物沉積

 

2線性密封性佳，泵性能最優

 

3結構簡單，故障率低，維修容易

 

4電機水冷設計，通過防爆認證，安全百分比

 

5 微電腦操作，遠端監控，保護周全

 

 

上海漢鐘干式真空泵 PS系列 

包括機型  漢鐘真空泵PS80 ，漢鐘真空泵PS160，漢鐘真空泵 PS180，漢鐘真空泵 PS602，漢鐘真空泵 PS902,漢鐘真空泵 PS1302,漢鐘真空泵 PS1802

 

臺灣漢鐘真空泵PS系列產品特點

螺旋真空泵浦產品特色

　　漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果，終極壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。

 

泵浦溫度控制精準 

　　漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計，同時改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準地控制泵浦內部溫度，減少沉積物的產生，增加真空泵浦的壽命。 

 

密封馬達安全性高

　　PS系列真空泵浦亦全面采用專利設計的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外，也可完全避免制程氣體外漏的風險。

 

微電腦控制保護周全 

　　PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護，十分適用于光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。

 

1. 新品真空泵 ：

 

   臺灣漢鐘螺桿式干式真空泵（hanbell),新品真空泵有德國BECKER貝克系列真空泵，全新Edwards愛德華系列真空泵，具體品牌型號歡迎來電咨詢。

 

2. 二手真空泵：

 

   二手真空泵,有油式/干式/渦卷式/碳片式/冷凍式真空泵,真空系統設備等，具體歡迎咨詢。

 

優勢產品包括：

   漢鐘PS1802，漢鐘PS1302，漢鐘PS902，漢鐘PS602，愛德華RV12，愛德華RV5，愛德華RV8，愛德華E2M18，愛德華E2M28，愛德華E2M40，愛德華E2M80，愛德華E2M275，貝克U4.100，貝克U4.40，貝克VT4.40，貝克VT4.8，紀維GWSP300，紀維GWSP600，紀維GWSP150，萊寶D65B，萊寶D16B，萊寶D25B，阿爾卡特2033，阿爾卡特2021，愛德華19號油，愛德華20號油，愛德華70號油，FOMBLIN25/6， FOMBLIN16/6，松村MR-200，松村MR-250，松村MR-100，杜邦1525，愛德華油霧過濾器等