HB-3000是一款無需水處理工序的干式裝置，其特點(diǎn)在于綜合了化學(xué)反應(yīng)方式及催化劑方式的優(yōu)點(diǎn)?；瘜W(xué)反應(yīng)方式具備無需進(jìn)行污水處理、二氧化碳排放量也較少的優(yōu)點(diǎn)。不過，由于需要使用高性能反應(yīng)劑來分解四氟化碳并同時(shí)固定分解時(shí)產(chǎn)生的氟，因此運(yùn)行成本較高，而且由于反應(yīng)劑填充容器的容量限制，可處理的排氣量僅為每分鐘200升左右。

      催化劑方式是利用催化劑分解四氟化碳，用水吸收分解時(shí)產(chǎn)生的氟，其優(yōu)點(diǎn)在于運(yùn)行成本較低，通過大型化，可處理大量廢氣。但是需要對排出的污水等進(jìn)行后處理。

      此次開發(fā)的新裝置利用低價(jià)鈣（Ca）類反應(yīng)劑，成功使催化劑方式中的氟去除工序?qū)崿F(xiàn)了干式化。由于這種鈣類反應(yīng)劑價(jià)格較低，因此與化學(xué)反應(yīng)方式相比，反應(yīng)劑所需成本降低，與催化劑方式相比，水處理所需成本也有所減少。

      并且，由于是自動(dòng)將鈣類反應(yīng)劑直接送入裝置并排出，因此不會受到填充容器容量的限制，可維持與原有大型催化劑方式同等的廢氣處理能力（每分鐘3500升），同時(shí)縮小了機(jī)身尺寸，可收放在20英尺集裝箱內(nèi)。凈化后產(chǎn)生的氟化鈣（CaF2）還可作為合成螢石進(jìn)行再利用。

      四氟化碳主要用于液晶面板及半導(dǎo)體的蝕刻工序等，其溫室效應(yīng)系數(shù)高，因此使用后在排放時(shí)需要進(jìn)行分解處理。 昭和電工力爭到2015年，廢氣處理裝置業(yè)務(wù)整體年銷售額實(shí)現(xiàn)30億日元。此次的新產(chǎn)品預(yù)定在2012年內(nèi)開始銷售。