詳細說明
AWM2000 系列小流量 / 無放大氣體流量傳感器
特點：
● 雙向氣流傳感
● 實際氣體質量流量傳感
● 流速0~30sccm 到0~1000sccm
● 需另加發熱器控制及傳感橋路供電電路
AWM2100V技術規格：10.0 ± 0.01VDC
● 流量范圍(刻度)：±200sccm
● 輸出電壓：30mV
● @標定點：@100sccm
● 零點漂移,type：+25 ~ -2508C +25 ~ +8508C ±0.2mV
● 輸出電壓漂移：+25～-2508C +2.5% 讀數； +25 ~ +8508C -2.5% 讀數
● 重復性&遲滯 Max：±0.35% 讀數
● 電源（VDC）（1）：Min8.0 10± Typ0.01 Max15
● 功耗（mW）：30 50
● 零點電壓（mV）：-1.0
● 反應時間（ms）：1.0
● 傳感器電阻(KΩ)（1-2 腳, 1-6 腳）：5
● 工作溫度：-25-8508C
● 儲存溫度：-40-9008C
● 沖擊(5drops,6axis)：100g 峰值
