AWM2000系列氣體流量傳感器:
AWM2000系列為無源器件，包含兩個惠斯頓電橋：一個為閉環(huán)的發(fā)熱控制電路，一個為雙傳感電路.
。雙向氣流傳感
。實(shí)際氣體質(zhì)量流量傳感
。流速0~30sccm 到0~1000sccm
。能承受最大共膜壓力25PSI
。需另加發(fā)熱器控制及傳感橋路供電電路
。工作溫度:-25~+85℃
。供電電壓:10VDC
。輸出電壓:最大50mV

AWM3000系列氣體流量傳感器:
AWM3000 系列是輸出為1-5V 或4~20mA的氣體質(zhì)量流量傳感器
。激光校整保證了一致的互換性
。測量流速可至1.0LPM
。能承受最大共膜壓力25PSI
。工作溫度:-25~+85℃
。供電電壓:10VDC